بهینه سازی پارامترهای محفظه پلاسما با شبیه سازی کامسول

این پروژه به بررسی تأثیر پارامترهای مختلف در پمپ کندوپاش یونی با استفاده از شبیه‌سازی پلاسما و فرآیند کندوپاش می‌پردازد.

در طراحی پمپ، پارامترها با استفاده از محاسبات و شبیه‌سازی میدان‌های الکتریکی، میدان مغناطیسی و چگالی الکترون تعیین می شوند.

چگالی الکترون با توجه به تغییرات شعاع سلول، ارتفاع سلول، ولتاژ آند و شدت میدان مغناطیسی محاسبه و بهینه‌سازی می شوند.

سرعت پمپاژ از طریق جریان یونی وابسته به چگالی الکترون همراه با بهره کندوپاش و احتمال جذب مولکول‌های گاز برآورد شد ه و بر اساس آن ابعاد بهینه پمپ تعیین گردید.